旭光电子:氮化铝结构件已使用于半导体光刻工艺等 且完成出售

来源:bob综合客户端app/零欧姆电阻    发布时间:2024-02-14 22:09:57
旭光电子:氮化铝结构件已使用于半导体光刻工艺等 且完成出售

  11月7日在互动渠道答复投资者发问时表明,现在,公司自产氮化铝粉体,首要功能指标经权威机构查验测验认证,与代表世界领先水平的日本德山为同一等级,满意高热导封装资料及

  氮化铝封装资料(基板)方面,公司所出产的氮化铝LED基板、激光热沉基板、功率模块基板及高温共烧多层基板等产品,已在下流使用端的三十余家企业经过认证及完成供货出售。现在,公司氮化铝基板已使用于DPC、DBC、AMB及HTCC等金属化工艺范畴,成为国内氮化铝基板首要供货商。

  氮化铝结构件方面,公司所出产的氮化铝大尺度结构件,已使用于半导体工业及泛半导体工业(含光伏工业)的光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺、离子注入等工艺中,现在现已过国内多家半导体(含光伏)设备企业的认证及完成供货出售。

  氮化铝是一种归纳功能优秀的先进陶瓷资料,因具有高热导率(热导率是现在氧化铝陶瓷资料的7-10倍)、热线胀系数与Si匹配度高、高强度、高体积电阻率、高绝缘耐压、化学稳定性等特性,是国内外公认的第三代半导体要害资料和电子器件的先进封装资料。

  此外,公司作为世界先进的大功率发射管出产企业,研制能力强、产品系列完全,产品品种类型达百余种,其产品作业频率范围在0.1MHZ-1000MHz之间、输出功率范围在1KW-1MW之间,可使用于雷达、医疗、CO2激光设备、广播电视、半导体设备、可控核聚变等范畴。现在,公司用于光刻机、等离子清洗/抛光等半导体设备范畴的发射管产品现已客户验证经过,并完成批量出售。(宋元东)